HEPA-suodattimien välttämätön rooli Puolijohdin puhdistushuoneissa

Puolijohdeteollisuudessa koskematon ympäristö on ratkaisevan tärkeää tuotteiden laadun ja toiminnan tehokkuuden varmistamiseksi. Yksi tällaisen puhtauden saavuttamisen tärkeimmistä osatekijöistä on HEPA-suodattimien käyttö puhtaissa tiloissa. Korkean tehokkaan hiukkasilman (HEPA) suodattimet on suunniteltu tallentamaan vähintään 99. 97 % hiukkasista, jotka ovat 0,3 mikronia halkaisijaltaan, joten ne välttämättömiä