A hepa szűrők alapvető szerepe a félvezető tisztítótermekben

A félvezető iparágban az érintetlen környezet fenntartása elengedhetetlen a termékminőség és a működési hatékonyság biztosítása érdekében. Az ilyen tisztaság elérésének egyik kulcsfontosságú eleme a hepa szűrők használata a tisztítótermekben. A nagy hatásfokú részecske-levegő (hepa) szűrőket úgy tervezték, hogy a 0,3 mikron átmérőjű részecskék legalább 99,97%-át rögzítsék, így ezek nélkülözhetetlenek