Í framleiðsluiðnaði hálfleiðara er mikilvægt að viðhalda ógeðfelldu umhverfi til að tryggja vörugæði og skilvirkni á rekstri. Einn lykilþættinn við að ná slíkum hreinleika er notkun HEPA sía í hreinsunarherbergjum. Háþéttni hluti loftssíur (HEPA) eru hannaðir til að ná að minnsta kosti 99. 97% agna sem eru 0,3 míkrón í þvermál, sem gerir þau óspend