2025-09-11

半導体クリーンルームにおけるHEPAフィルターの重要な役割

半導体製造業界では、製品の品質と運用効率を確保するために、手付かずの環境を維持することが重要です。このような清浄度を達成するための重要な要素の1つは、クリーンルームでのHEPAフィルターの使用です。高効率粒子空気 (HEPA) フィルターは、直径0.3ミクロンの粒子の少なくとも99.97% を捕捉し、それらを分配するように設計されています