Esminis hepa filtrų vaidmuo puslaidininkių švariose patalpose

Puslaidininkių gamybos pramonėje nepriekaištingos aplinkos palaikymas yra labai svarbus norint užtikrinti produktų kokybę ir veiklos efektyvumą. Vienas iš pagrindinių komponentų siekiant tokio švarumo yra hepa filtrų naudojimas švariuose kambariuose. Didelio efektyvumo kietųjų dalelių oro (hepa) filtrai yra skirti užfiksuoti mažiausiai 99,97% dalelių, kurių skersmuo yra 0,3 mikronų, todėl jie nėra