Peranan penting penapis HEPA dalam bilik bersih semikonduktor

Dalam industri pembuatan semikonduktor, mengekalkan persekitaran yang murni adalah penting untuk memastikan kualiti produk dan kecekapan operasi. Salah satu komponen utama dalam mencapai kebersihan sedemikian ialah penggunaan penapis HEPA di bilik bersih. Penapis udara partikulat kecekapan tinggi (HEPA) direka untuk menangkap sekurang-kurangnya 99.97% zarah yang diameter 0.3 mikron, menjadikannya tidak jelas