सेमीकन्डक्टर उत्पादन उद्योगमा, उत्पादन गुणस्तर र परिचालन दक्षता सुनिश्चित गर्नका लागि एक विच्छेद वातावरण कायम राख्न महत्त्वपूर्ण छ। यस्तो सफाई प्राप्त गर्न प्रमुख कम्पोनेन्टहरू मध्ये एक सफा कक्षमा HEPA फिल्टरहरूको प्रयोग हो। उच्च-अफिसी पार्टिकलेट एयर (HEPA) फिल्टरहरू कम्तिमा 99 99 कब्जा गर्न डिजाइन गरिएको छ। ०.3 माइक्रोन व्यासको कणको% %