Yarı iletken temizliklerde hepa filtrelerinin temel rolü

Yarı iletken üretim endüstrisinde, bozulmamış bir ortamı korumak, ürün kalitesini ve operasyonel verimliliği sağlamak için çok önemlidir. Bu tür temizliğe ulaşmada önemli bileşenlerden biri, temizliklerde hepa filtrelerinin kullanılmasıdır. Yüksek verimli partikül hava (hepa) filtreleri, çapı 0.3 mikron olan parçacıkların en az % 99,97 'sini yakalamak için tasarlanmıştır.