Vai trò thiết yếu của bộ lọc HEPA trong phòng sạch bán dẫn

Trong ngành sản xuất bán dẫn, duy trì một môi trường nguyên sơ là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng sản phẩm và hiệu quả hoạt động. Một trong những thành phần quan trọng để đạt được sự sạch sẽ như vậy là sử dụng bộ lọc HEPA trong phòng sạch. Bộ lọc không khí dạng hạt hiệu suất cao (HEPA) được thiết kế để thu được ít nhất 99.97% hạt có đường kính 0.3 micron, khiến chúng không thể thiếu